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超純水系統的預處理系統主要包括石英沙過濾裝置、活性碳過濾裝置、精密過濾裝置組成，目的是去除原水中的泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物，色素、異味、生化有機物，降低水的余氨值及農藥污染等有害的物質。
反滲透是一種借助于選擇透過(半透過)性膜的功能以壓力為推動力的膜分離技術，當系統中所加的壓力大于進水溶液滲透壓時，水分子不斷地透過膜，經過產水流道流入中心管，然后在一端流出水中的雜質，如離子、有機物、細菌、病毒等，被截留在膜的進水側，然后在濃水出水端流出，從而達到分離凈化目的。
EDI它巧妙的將電滲析和離子交換技術相結合，利用兩端電極高壓使水中帶電離子移動，并配合離子交換樹脂及選擇性樹脂膜以加速離子移動去除。在EDI除鹽過程中，離子在電場作用下通過離子交換膜被清除。
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