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等離子體質譜儀在長時間的使用過程中，難免會出現各種各樣的狀況，下面我們來說說電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）的常見維護。
進樣系統(蠕動泵，霧化器，霧室，炬管)
蠕動泵如果失去彈性，將影響樣品的正常進樣，需要隨時檢查，更換就可以。
霧化器和霧室要注意是否堵塞，霧化器如果堵塞會出現靈敏度降低儀器穩定性差。必要時進行霧化器清洗，一般都有自行清洗功能，要注意每天更換清洗進樣系統的超純水及清洗管路的稀酸液；。
炬管，一般是可以拆卸的，可以將其放人熱王水中浸泡后用去離子水洗干凈，最后放干后使用。要隨時檢查矩管是否有破損。
接口(采樣錐和截取錐)
一般而言，錐盤清潔維護保養時機點主要依據分析背景值升高，記憶效應產生，峰變形或真空度產生變化(真空壓力下降表明有堵塞的現象，若真空壓力上升代表錐孑L已經破損，則需要更換錐盤)。
保養過程清潔保養全過程須穿戴安全眼鏡與保護手套，因錐孔容易受損，清潔保養處理時須小心，輕拿輕放，避免污染。洗液一般選用儀器廠家自帶比較把握。可采用浸泡或超聲波清洗，處理后用去離子水清洗干凈，用軟布或擦鏡紙擦拭干凈。重復2～6次，最后用氮氣或氬氣吹干，或烘箱(60度)干燥。
透鏡系統
透鏡系統是十分精密的部分，最好由專業人員進行維護。如果儀器運行負荷很大的話，最好半年查一次，如需要的話，進行清洗。提取透鏡最好每月檢查清洗。一般采用水磨砂紙打磨提取透鏡，再用去離子水清洗或超聲清洗，但時間不易太長。清洗透鏡時，請注意所使用的工具頂部也要清洗，而且一定要戴好無粉手套后才可接觸透鏡，以防污染。透鏡和引導片可以使用砂紙打磨，去離子水沖洗，超聲清洗，然后在空氣中晾干或烘箱中烘干。也可用丙酮清洗將表面的水趕盡。
檢測器
目前ICPMS通常采用隧道電子倍增器作為檢測器，檢測器使用一段時間后，產生“疲勞效應”，這將導致檢測器靈敏度下降，此時，應向廠家咨詢活化處理的方法或送至廠家進行活化處理．另外電子倍增器通常有ICP—MS的真空系統非常重要。真空通過真空泵來完成。ICP—MS的泵有兩類，機械泵和分子渦輪泵。
分子渦輪泵集成在主機上，一般不需要維護。而機械泵通過管子和主機連接。機械泵注意要經常加油。
冷卻水系統
應定時更換冷卻水，約每半年更換一次，每年檢查一次水接頭，防止漏水，必要時及時更換。定期清理水循環的散熱器，三年左右檢查制冷量。
氣路系統
定期檢查內外氣路，看是否有漏氣。每次關氣時，務必同時關掉調壓閥，并把瓶口沖洗干凈。每次開氣時，確認調壓閥處于關閉狀態，先打開鋼瓶總開關，然后打開調壓閥，調節到指定壓力。
