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什么是鎢燈絲掃描電鏡

發布時間:2021-06-21

  今天瑞盛的小編給大家講解一下鎢燈絲掃描電鏡,下面就和大家說說。

  鎢燈絲掃描電鏡是一種用于物理學領域的分析儀器,于2015年12月31日啟用。鎢燈絲掃描電鏡也是SEM掃描電鏡。

  SEM電子槍用于發生電子,主要是2大類,共3種。第一類是利用處致發射效應發生電子,稱為場致發射電子槍。這類電子槍非常的貴,每個都在十萬美圓以上,而且要求小于10-10torr的極高真空。不過它有著最少1000小時以上的壽命,而且不需要電磁透鏡體系。另外一類就是使用熱發射效應發生電子,有鎢槍和六硼化鑭槍兩種。鎢槍壽命在30~100小時之間,價錢就沒有那么貴比較便宜,但成象不如其余兩種明亮,通常作為便宜或標準SEM設置。六硼化鑭槍壽命介于場致發射電子槍與鎢槍之間,是200~1000小時,價錢約為鎢槍的十倍,圖像比鎢槍明亮5~10倍,需求略高于鎢槍的真空,通常在10-7torr以上;但是比鎢槍容易發生適度飽和和熱發生問題。后面的便是所謂的鎢燈絲掃描電子顯微鏡。

  通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發狀態。經過掃描線圈磁場的控制,電子束在樣品表面逐點掃描,激發出二次電子、背散射電子等物理信號,經探測器收集、放大器放大后,調制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規檢測。

  今天鎢燈絲掃描電子顯微鏡講解小編將到這里了,歡迎下期看點。



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