影響鎢燈絲掃描電鏡性能之電子光學合軸：


　　鎢燈絲掃描電鏡的電子光學系統由電子槍、聚光鏡、物鏡以及物鏡光闌等組合而成。電子槍發射的電子一定要沿著這些部件的中心軸線穿過，因此要調整這些部件同軸，調整同軸的過程稱之為合軸，合軸也稱之為對中。合軸后圖像亮度最亮，像差最小，分辨率最高，合軸是束流穩定的一個關鍵因素其中之一。合軸主要包含電子槍合軸還有光闌合軸。


　　替換燈絲與在燈絲使用過程當中，電子槍燈絲發射的電子要和聚光鏡還有物鏡的光軸對中調節，稱之為鏡筒合軸，或者稱之為電子槍合軸。電子槍合軸能夠進行機械調節還有自動合軸。合軸是通過電子源的傾斜校正還有水平校正進行調節，讓燈絲發射的電子和聚光鏡以及物鏡的光軸重合，合軸后圖像的亮度最高。


　　不同型號的鎢燈絲掃描電鏡的物鏡光闌孔徑的數量也不一樣。要得到高分辨率圖像還有穩定的束流,在物鏡光闌交換以及光闌清洗之后，需要重新調整物鏡光闌孔徑的位置，讓物鏡光闌孔徑位置在物鏡極靴的中心，這種調節過程稱之為物鏡光闌合軸。物鏡光闌合軸后，電子束通過物鏡與光闌的中心。光闌位置有偏離的時候，圖像的像差會變大，沒有辦法得到高分辨率的圖像，束流也不穩固。


　　光闌合軸是通過光闌的x,y方向移動旋鈕進行調節，調節之后通過圖像聚焦，來觀察圖像是不是有移動，假如是高倍（比方說10000X）圖像在聚焦過程當中不發生圖像移動，并且束流最大，表示光闌合軸良好。能夠通過選定SEM的Wobbler按鈕，觀察圖像的擺動大小，隨之進行x,y方向移動調節，讓圖像沒有辦法移動表示合軸良好。