電感耦合等離子體質譜是一種快速、準確、準確和極其靈敏的痕量金屬分析技術。電感耦合等離子體質譜儀利用質譜儀檢測電感耦合等離子體產生的離子。電感耦合等離子體質譜最早是在20世紀80年代初發展起來的。電感耦合等離子體質譜因其靈敏度高、分析速度快、通用性強、操作簡單等優點，正成為市場上大多數重金屬檢測技術的首選。


　　電感耦合等離子體質譜中的數據通常進行定量或半定量分析，如同位素比值測量或同位素稀釋分析。


　　有了這些知識，我們可以使用合適的標準來計劃全面的定量分析，并在發現潛在的質量干擾問題時調整儀器操作協議。定量分析是通過導出將測量的分析物計數轉換成濃度的校準曲線來進行的。為了創建該曲線，在與未知樣品完全相同的儀器條件下，測量了一組具有驗證分析物濃度的參考標準。對于這些類型的分析，只需為感興趣的m/z值設置四極射頻和DC電壓設置或扇形磁場。不需要掃描整個質量范圍。最后，同位素稀釋法是達到最高定量精度的手段。例如，如果分析物是56 Fe，可以通過添加已知量的57 Fe來稀釋樣品，57fe是一種穩定的同位素，自然豐度為0.29%，化學和物理性質與56 Fe相同。因此，它作為一個內部標準。通過測量57 Fe/56 Fe的同位素比，并且因為57 Fe的添加量是已知的，所以可以計算56 Fe的濃度。這種方法的妙處在于，分析、標準化、量化都在一個實驗中完成，最后的結果是按比例得出的，可以排除任何儀器效應。