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校準儀器氦質譜檢漏儀是氣體工業生產的專用術語。用氦氣或氡氣作為泄漏指示器，用氣體檢測儀檢查氦氣進行檢漏。氦氣背景噪聲低，含量小，粘度指數小，容易按漏孔擴散。另外，氦氣是一種塑性氣體，對機器設備沒有腐蝕作用，所以常用氦氣作為泄漏氣體。將這種氣體噴入與氣體檢測器相連的測試容器中(調整到只反射氦氣的工作狀態)。如果容器有泄漏，探測器會在一定程度上反映出來，進而知道泄漏情況和蒸汽泄漏的大小。
技術發展用以發電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。核心功能部件之間均為進口，特性以及平穩靠譜。不但敏感度高，并且根據實際工作操作更加便捷，可以雙鎢絲全自動轉換、全自動調零、全自動校正和全自動測量研究范圍不斷轉換。
計量檢測操作方法：
氦質譜檢漏技術是真空泵檢漏行業中不可缺少的技術，由于檢漏簡單、操作方便、儀器設備靈活、精度高，且不受其他氣體的影響，在電加熱爐檢漏中得到了廣泛的應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜基本原理，以氦作為檢漏指示氣體制成的氣密性檢測儀。由離子源、分解器、回收器、冷陰極水解儀、真空萃取系統軟件和部分電氣設備組成的質譜分析室。質譜室中鎢絲發出的電子器件在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣通過泄漏孔進入室內，水解成正離子。這種氦正離子以加速靜電場效應進入電磁場，因為洛倫茲力效應引起位移，產生弧形軌跡，改變加速工作電壓，可以根據電磁場和到達接受極的接受狹縫測試不同質量的正離子。注氦法和吸氦法是電加熱爐氦質譜儀檢漏常用兩種方法。
