（1）目視檢查：首先檢查儀表系統是否有明顯漏氣。當儀表系統的空氣回路中存在較大泄漏時，很可能無法調節流量。如果沒有聽到漏氣聲，轉到（3）。
　　（2）泄漏檢測:在聽到泄漏聲音后，可以根據聲音的方向逐步進行定位。此時可進一步確定使用肥皂涂抹發生漏氣的情況。及時查找堵漏原因。
　　（3）柱前壓力觀察:通過觀察柱前壓力指示器的數值，可以快速判斷故障是由氣源引起的還是儀器內部氣路堵塞損壞引起的。如果柱前壓力過低（準確的說是低于正常流量運行時的預定壓力值），說明需要檢查氣源；如果柱前壓力正常，則需要檢查儀器的內部氣路。
　　（4）鋼瓶放在高壓進行檢查：打開進入鋼瓶閥后，觀察分析高壓表指示，壓力我們應在1~15MPa之間。如果沒有壓力在1MPa以下，停用該鋼瓶，換氣；如壓力值在合適的范圍內，說明存在鋼瓶質量壓力可以正常。
　　檢查減壓閥上的低壓輸出：調整減壓閥，看氣缸上低壓表的指示是否可以調整到0.25～0.6MPa。如果正常，可懷疑空氣通道過濾器接頭堵塞或儀表上的穩定閥有問題，應按（6）執行；如果低壓值異常，則表示減壓閥有問題，需要修理（7）。
　　（6）過濾器堵塞及穩壓閥檢查:將過濾器出口慢慢旋轉至儀表氣源入口，觀察接口處是否有強氣流流出。如果是這樣，說明過濾器沒有堵塞，壓力調節閥可能有問題。在確定閥門沒有排氣之后，可以拆卸和清洗閥門，這可能是由于閥針和閥座之間的堵塞造成的。如果清洗后閥門仍然不能正常工作，最好更換一個新的閥門。如果在上述試驗中，開口接頭沒有強大的氣流，則有必要檢查過濾器進口前后是否可能堵塞;當然，中間管道堵塞是可能的，但發生率很小。
　　（7）減壓閥的修理:在了解減壓閥的結構后，就可以對減壓閥進行拆卸和修理。由于減壓閥入口側有高壓，如果沒有維修經驗，最好不要盲目拆卸。如果條件允許，建議使用新的閥門；更換閥門時，必須注意氫氣表或氧氣表應與其他氣源表中使用的減壓閥分開使用，減壓閥應標有其專用氣源名稱。
　　（8）停用，換氣：在鋼瓶的壓力太小時，應立即進行停用、換新瓶或充氣。在過小的壓力下，不但氣源輸出具有不穩，而且氣源中雜質離子濃度將明顯可以增大，這對高靈敏度的分析是特別發展不利的。另一個企業必須同時要注意的問題，是鋼瓶中的余氣，特別是對于氫氣存在鋼瓶的余氣不能自己隨便一個排放。
　　（9）拆下柱入口氣路：將柱子作為入口處氣接頭可以拆下，觀察不同流量計中的轉子系統是否能順利升到最上端。如果能直接升到最上端，說明柱前氣路正常，轉入（10）作進一步提高檢查；如果一個轉子質量達不到最上端使用說明柱前氣路有堵塞，需進行（13）檢查。
　　（10）拆除柱端:將柱入口連接回原氣路后，拆除柱端，然后觀察流量計中的轉子能否調整到預定值。如果可以的話，就會判斷柱后的管道和檢測器是否被堵塞，需要按（11）來處理;如果轉子還沒有起來，可以認為柱填充過緊，需要按（12）。
　　（11）檢查和排除堵塞:當判斷柱后管道或檢測器堵塞時，應排隊清洗。
　　（12）柱填充物太緊：柱填充是否過緊的主要部分原因是信息載體目數太大，造成影響過大的氣阻所引起。在適當可以采用目數小一些的載體或減短色譜柱的長度后可以使學生流量上調到一個預定值。
　　（13）拆卸流量計出口氣體接頭:旋轉轉子流量計出口氣體路徑后，觀察轉子是否能上升到最高端。如果可能，確定進氣道和化油器氣路堵塞，按（14）;如果轉子仍然不能上升到頂部，流量閥可能被認為損壞或流量計進氣道堵塞，此時按（15）。
　　（14）注射口堵塞:注射器堵塞可根據注射器清洗步驟進行。
　　（15）流量閥和管道堵塞:通過堵塞試驗可以快速確定流量管道是否堵塞。如果是，則按煤氣管道清洗；如果流量計前的管道正常，則拆下流量控制閥進行清洗。
　　2、流量太大調不小
　　如果氣體流量管理一直存在很大而不能調小，可以自己認為是氣路控制信息系統的一種網絡故障。產生此類故障的原因有三種：
　　是流量計后氣路有泄漏；
　　是氣路氣阻太小；

　　流量控制閥損壞:其檢查方法如下:首先堵住檢測器的出氣口，觀察轉子在流量計上是否可以下降到零。如果不能降為零，需要考慮漏氣的檢查，具體方法見漏氣檢查和排除;如果轉子能降為零表示系統不漏氣。此時應觀察流量控制閥旋轉時，是否有較大的流量變化，如果有變化，可適當增加氣體阻力;如果沒有變化，應根據閥門本身的清洗部分進行處理。處理后的閥門應重新安裝在原來的氣路中進行控制試驗。