今天瑞盛科技的小編給大家介紹的是關于影響鎢燈絲掃描電鏡性能的因素,一起來看下吧希望能給大家帶來幫助。
影響鎢燈絲掃描電鏡性能之加速電壓
加速電壓是加速從電子源發射的電子而加到燈絲與陽極之間的電位差。高加速電壓額時候圖像分辨率高,圖像包含比較深層的信息,損失了圖像表面細節,增加了邊緣效應,增加了試樣的放電可能性并且可能損傷某些試樣。WDS與EDS分析的時候,為了可以充分激發元素的特征X射線,得到高X射線強度及高峰背比(P/B),經常使用比較高的加速電壓。人射電子的能量(加速電壓)一般應為被測元素線系臨界激發能的兩到三倍
影響鎢燈絲掃描電鏡性能之聚光鏡勵磁電流
入射電子束電流,簡稱束流,是通過聚光鏡勵磁電流調節,強勵磁電流的束流小,電子束直徑小,圖像分辨率高還有信噪比降低。WDS和EDS分析的較大束流,通常是通過較小勵磁電流來調節。掃描電鏡的電子束直徑的尺寸調節,實際是調節束流的大小,由于束斑尺寸大,束流也大。有的鎢燈絲掃描電鏡沒有辦法通過調節聚光鏡束流大小來調節束流,只可以通過不同物鏡光闌孔徑進行調節束流,這種束流不能連續調節。
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