(1)進一步提高的操作性和易讀性

顯示器從以前的17英寸更換為23英寸，圖標布局更為實用，這些在老機型上就已廣受稱贊的功能此次被進一步完善。新系統加大了透視圖像、外觀圖像、參考圖像的尺寸，最大放大倍數也從原來的127倍提高到161倍,更易于觀察各種圖像。

(2) 簡化BGA測量、面積比率測量的操作

新系統改進了BGA（球柵極陣列）測量及面積比率測量，大幅度簡略化了操作步驟。以前的系統需要手動設定復雜的測量參數，現在的新系統可進行獨立的圖像處理算法自動調整。在以前系統中需要60秒左右（包含操作時間）完成的作業，現在只要約1秒就能完成，同時避免了因人為因素帶來的偏差，保證了測量結果的穩定。新系統可以預先保存多個設定，根據不同檢查對象調出相應設定進行檢查。

(3)增大的外觀圖像和可覆蓋全部區域的定位功能

作為老機型的特長之一的外觀導航功能，在新系統中得到改進，最顯著的是增大外觀圖像的拍攝范圍。過去外觀相機無法覆蓋全部載物臺的移動范圍300×350mm（SMX-1000L Plus520×620mm），新系統中則解決了此問題，消除了外觀覆蓋死角區域，在全部移動范圍內均可指定移動位置。