• GM樣品室配備有5軸馬達驅動樣品臺
• 多于20個接口，優化的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
• 一流YAG閃爍器式探頭
• 可選各種探頭和配件
• 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態
• 在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（XMU型號）
• 可選樣品室減振方式
• 3維Metrology軟件提供了三維重構與3維測量功能

標配：

根據實際配置和需求

配件：

二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）

可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數分辨率（0.1Z）
低真空二次電子探頭
探針電流測量
壓差式防碰撞報警裝置
可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭
冷臺
等，各種配件可供選擇