能量色散X射線熒光光譜儀的主要應用包括石油和燃料、塑料、橡膠和紡織品、醫藥產品、食品、化妝品和身體護理產品、肥料、地質材料、采礦飼料、礦渣和尾礦、水泥、耐熱材料、玻璃、陶瓷、催化劑和晶片的分析。紙張、薄膜和聚酯涂層的測定;以及金屬、玻璃和塑料;法醫學;硅片上的多層薄膜、光伏和旋轉存儲介質、用于污染監測的固體廢物、流出物、清洗液、水池和過濾器。此外,x射線透射(XRT)過程儀器用于測量原油和海洋燃料中的硫。
XRF和EDXRF光譜儀是許多應用中元素分析工具的首選,因為它們比電感耦合等離子體發射光譜(ICP-OES)和原子吸收光譜(AA))或原子熒光光譜(AF)等其他技術更小、設計更簡單、運行成本更低。EDXRF應用的一些常見例子是:水泥和原材料:硫、鐵、鈣、硅、鋁、鎂等。高嶺土:鈦、鐵、鋁、硅等。粒狀催化劑:鈀、鉑、銠、釕等。礦石:銅、錫、金、銀等。水泥和砂漿填料:灰分中的硫。
能量色散X射線熒光光譜儀應用的其他常見例子包括:汽油、柴油和RFG:硫、錳、鉛等。殘余瓦斯油:硫、氯、釩、鎳等。二次油:氯氣等。煤油和石腦油:硫磺等。以及原油和船用燃料:硫、釩、鎳等。電鍍、酸洗和預處理槽:金、銅、銠、鉑、鎳、硫酸鹽、磷酸鹽、氯化物等。乙酸:鎂、鈷和溴;對苯二甲酸(TPA):鈷、錳、鐵等。對苯二甲酸二甲酯(DMT):重金屬;聚氯乙烯共聚物溶液:氯;乳劑:銀;粘土:金屬和非金屬;和廢物流:RCRA金屬、氯化物、磷酸鹽等。此外,EDXRF和XRF用于量化以下元素中的原子元素:食品、寵物食品和其他動物飼料:鉀、磷和氯;化妝品:鋅、鈦、鈣、錳、鐵、硅、磷、硫、鋁、鈉;木材處理:CCA、Penta、ACQ、ACZA、磷基阻燃劑、環烷酸銅、環烷酸鋅、TBTO、IPBC及其組合;抑酸劑:鈣;還有牙膏:磷和錫。