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隨著科技的進步，20世紀60年代初半導體探測器發明后，用能譜分析X射線熒光成為可能。能量色散X射線熒光光譜儀(ED-XRF)利用X射線管產生初級X射線照射樣品，產生的特征X射線(熒光)直接進入半導體探測器，可以進行定性分析和定量分析。接下來，我們一起了解X熒光光譜儀兩種分類介紹。
X射線熒光光譜儀是一種可以同時測定多種元素的新型儀器。在X射線的激發下，被測元件原子內層的電子發生能級躍遷并發射出次級X射線(即X熒光-RRB-。能量色散(ED-XRF)和波長色散(WD-XRF)是從不同角度描述X射線的兩個物理量。
能量色散熒光光譜儀
能量色散法是將X射線激發被測所有這些元素的熒光技術簡單過濾后，全部進入到檢測器中，利用各種儀器和軟件來分出其中的光譜。如測的為元素周期表中相鄰的兩個元素，會因光譜重疊而產生影響測量誤差。能量色散型儀器最大的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業管理人員操作，缺點是對鉻和溴是總量分析測定（一般認為不影響使用，因為我們很多發展情況可以根據判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為一種阻燃劑加入，不管是對于那種溴，總量超標問題就不合格）。
波長色散熒光光譜儀
波長法是因為它激發的熒光足夠強，儀器中用于分析的光譜是單一元素(“過濾”了不需要的元素)，不含其他元素的光譜，所以測量數據非常準確。這種儀器的靈敏度比能量色散型高一個數量級，也就是說，測量的數據沒有“灰色地帶”，測量后需要檢測機構重新檢測。缺點是波長法需要將被測物質粉碎成樣品，才能準確測量。所以最適合材料廠。如果不制作樣品(無損)，由于材料表面形狀不同，會產生不同的誤差。儀器操作也不需要專業人員。
