X射線熒光光譜儀由激發源(X射線管)和檢測系統組成。X射線管產生入射X射線(初級X射線)并激發被測樣品。被激發樣品中的每個元素都會發出次級X射線，不同元素發出的次級X射線具有特定的能量特征或波長特征。探測系統測量這些發射的次級X射線的能量和數量。然后，儀器軟件將檢測系統采集的信息轉換成樣品中各種元素的種類和含量。
　　主要用途：
　　X熒光光譜儀研究主要使用用途X熒光光譜儀能夠根據各元素的特征X射線的強度，也可以自己獲得各元素的含量信息。
　　近年來，X射線熒光光譜儀分光光度法已廣泛應用于冶金、地質、有色金屬、建材、商品檢驗、環境保護、健康等領域，特別是在RoHS檢測領域得到廣泛應用。
　　它可以分析大多數分析元素，包括固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍從Be到u，具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小等特點。
　　X射線熒光光譜儀優勢:
　　1.分析速度快。測定時間與測定精度有關，但一般很短。
　　2.X射線熒光光譜跟樣品的化學結合生活狀態信息無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上都是沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密技術測定中卻可看到有波長發生變化等現象。特別是在超軟X射線檢測范圍內，這種效應研究更為顯著。波長結構變化可以用于化學位的測定。
　　3.無損分析。在測定過程中，沒有化學狀態的改變，也沒有樣品飛走。同一樣品可多次測定，重現性好。

　　4.x射線熒光分析是一種物理分析方法，所以在化學性質上屬于同一族的元素也可以分析。